Thin Film Deposition

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标题	Thin Film Deposition 薄膜沉积相关领域等离子体增强化学气相沉积材料科学化学气相沉积制作微电子机械系统钝化氮化硅沉积（地质）光电子学纳米技术硅图层（电子）医学生物病理古生物学沉积物替代医学
网址	https://link.springer.com/chapter/10.1007/978-3-030-80135-9_...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1007/978-3-030-80135-9_3 doi
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