Novel fluorinated compounds as release materials for nanoimprint lithography

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标题	Novel fluorinated compounds as release materials for nanoimprint lithography 作为纳米压印光刻释放材料的新型氟化化合物
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	bailing128 在 2025-09-06 17:08:05 发布自广东，悬赏 20 积分
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