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 Growth and properties of single crystal TiN films deposited by reactive magnetron sputtering 反应磁控溅射TiN单晶薄膜的生长与性能
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：B.-O. Johansson; J.‐E. Sundgren; J. E. Greene; Angus Rockett; Scott A. Barnett 出版日期：1985-03-01 |
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