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 Beyond Performance of Learning Control Subject to Uncertainties and Noise: A Frequency-Domain Approach Applied to Wafer Stages 超越受不确定性和噪声影响的学习控制性能：应用于晶圆台的频域方法
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期刊：IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica 作者：Fazhi Song; Ning Cui; Shuaiqi Chen; Kai Zhang; Yang Liu; et al 出版日期：2024-11-13 |
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