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标题
Impedance match timing for pulsed RF control: Global model and validation experiments
网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0005083
DOI
10.1116/6.0005083 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：C. Smith; J. Brandon; S. Nam; K. Bae; J. Lee; et al
出版日期：2026-05-20
求助人
Alpha 在 2026-09-17 11:06:17 发布自湖北，悬赏 40 积分
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