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标题
NF3/NH3 Dry Cleaning Mechanism Inspired by Chemical and Physical Surface Modification of Si, SiO2, and Si3N4
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1149/06138.0001ecst
DOI
10.1149/06138.0001ecst doi
其它 期刊：
作者：H. Oh; J. Lee; Min Seon Lee; W. Shin; Sung Yong Kang; et al
出版日期：2014-10-01
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Tao2023 在 2026-07-18 23:45:23 发布自吉林，悬赏 10 积分
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