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 Control of Sidewall Profile in Dry Plasma Etching of Polyimide 相关领域
聚酰亚胺
材料科学
反应离子刻蚀
微电子机械系统
干法蚀刻
表面微加工
硅
氧化硅
蚀刻（微加工）
图层（电子）
光电子学
纳米技术
制作
氮化硅
医学
病理
替代医学
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Michal Zawierta; Mariusz Martyniuk; Roger D. Jeffery; Gino Putrino; Adrian Keating; et al 出版日期：2017-06-01 |
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