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 Characterization of metal line-width variation in via first dual-damascene approach and its modeling using machine learning artificial neural network algorithms 过孔第一双镶嵌方法中金属线宽变化的表征及其机器学习人工神经网络算法建模
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期刊： 作者：Pietro Cantù; Chiara Catarisano; Nicoletta Corneo; Emma Litterio; Benedetta Triulzi; et al 出版日期：2018-03-20 |
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