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A study on surface grinding of 300 mm silicon wafers 相关领域
薄脆饼
研磨
表面粗糙度
材料科学
机械工程
转速
模具(集成电路)
表面光洁度
硅
过程(计算)
碳化硅
工程制图
析因实验
工程类
光电子学
复合材料
计算机科学
操作系统
机器学习
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| 其它 | Z.J Pei |
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(2025-6-4)