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标题	Surface and Electrical Properties of Inductively-coupledPlasma-etched N-face n-GaN and a Method of Reducing the OhmicContact Resistance of Plasma-damaged N-face n-GaN 电感耦合等离子体刻蚀n面n-GaN的表面和电学性质及降低等离子体损伤n面n-GaN欧姆接触电阻的方法相关领域材料科学感应耦合等离子体等离子体面子（社会学概念）光电子学曲面（拓扑）物理几何学数学社会科学量子力学社会学
网址	https://doi.org/10.3938/jkps.55.1140
DOI	10.3938/jkps.55.1140 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Tak Jeong; Hyun Haeng Lee; KangHo Kim; Seong‐Ran Jeon; Seung-Jae Lee; et al 出版日期：2009-09-15
求助人	脑洞疼在 2025-10-12 17:35:43 发布自广东，悬赏 10 积分
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