| 标题 |
[高分]
  Homoepitaxial Growth on 4H-SiC {0001}-Vicinal Faces 相关领域
邻接
薄脆饼
抛光
材料科学
化学气相沉积
化学机械平面化
光电子学
氧化物
化学工程
纳米技术
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冶金
化学
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工程类
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期刊：Journal of the Society of Materials Science Japan 作者：Shunichi Nakamura; Tsunenobu Kimoto; Hiroyuki MATSUNAMI 出版日期：2004-01-01 |
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