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 Study of Schottky Diodes Based on an Array of Silicon Wires Obtained by Cryogenic Dry Etching 基于低温干法刻蚀硅线阵列的肖特基二极管研究
相关领域
干法蚀刻
材料科学
肖特基二极管
光电子学
蚀刻（微加工）
硅
二极管
纳米技术
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Technical Physics Letters 作者：A I Baranov; D. A. Kudryashov; A V Uvarov; I. A. Morozov; K Yu Shugurov; et al 出版日期：2022-02-01 |
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