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 Etching mechanism of high-aspect-ratio array structure 大展弦比阵列结构的刻蚀机理
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Gao Zhiting; Zhuang Ma; Lihong Gao; Qiang Liu; Yuxiang Wang; et al 出版日期：2023-07-01 |
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