Area-selective atomic/molecular layer deposition via block copolymer approach: Zn-benzene dithiol deposition as a case study

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标题	Area-selective atomic/molecular layer deposition via block copolymer approach: Zn-benzene dithiol deposition as a case study
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00048...
DOI	10.1116/6.0004848 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Olga Partanen; Lijo George; Anish Philip; Mauri A. Kostiainen; Maarit Karppinen 出版日期：2025-10-03
求助人	1111 在 2026-07-24 17:52:16 发布自山东，悬赏 10 积分
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