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  Vacuum Inner Spacer to Improve Annealing Effect during Electro-Thermal Annealing of Nanosheet FETs 提高纳米片场效应晶体管电热退火退火效果的真空内间隔物
相关领域
纳米片
材料科学
退火（玻璃）
光电子学
场效应晶体管
晶体管
电介质
纳米技术
电气工程
复合材料
工程类
电压
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期刊：Micromachines 作者：Dong-Hyun Wang; Khwang-Sun Lee; Jun-Young Park 出版日期：2022-06-24 |
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