Advanced process technologies for continuous logic scaling towards 2nm node and beyond (Invited)

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标题	Advanced process technologies for continuous logic scaling towards 2nm node and beyond (Invited) 相关领域缩放比例节点（物理）互连多重图案平版印刷术晶体管逻辑门材料科学过程（计算）薄脆饼计算机科学电子工程 NMOS逻辑极紫外光刻纳米技术光电子学电气工程工程类电压图层（电子）电信抵抗操作系统结构工程数学几何学
网址	https://doi.org/10.1109/iitc52079.2022.9881297
DOI	10.1109/iitc52079.2022.9881297 doi
其它	期刊：作者：Tomonari Yamamoto 出版日期：2022-06-27
求助人	hh 在 2025-11-24 18:33:58 发布自北京，悬赏 10 积分
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