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Suppressing Carbon Incorporation in Metal–Organic Chemical Vapor Deposition GaN Using High‐Offcut‐Angled Substrates 利用高切角衬底抑制金属有机化学气相沉积GaN中的碳掺入
相关领域
金属有机气相外延
化学气相沉积
材料科学
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碳纤维
分析化学(期刊)
光电子学
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化学
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生物
图层(电子)
复合材料
生态学
复合数
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期刊:physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters 作者:Vijay Gopal Thirupakuzi Vangipuram; Kaitian Zhang; Hongping Zhao 出版日期:2023-11-03 |
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