Optimal structure sampling for etch model calibration

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标题	Optimal structure sampling for etch model calibration 蚀刻模型标定的最优结构采样相关领域光刻胶计算机科学光刻校准抵抗腐蚀坑密度采样（信号处理）蚀刻（微加工）算法图层（电子）材料科学光电子学纳米技术数学计算机视觉滤波器（信号处理）统计
网址	https://doi.org/10.1117/12.2257994
DOI	10.1117/12.2257994 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE 作者：François Weisbuch; Andrey A. Lutich; Jirka Schatz 出版日期：2017-03-17
求助人	清风在 2025-12-16 09:56:57 发布自山东，悬赏 20 积分
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