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Optimization of selective laser etching (SLE) for glass micromechanical structure fabrication 相关领域
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10.1364/oe.430623
doi
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期刊:Optics Express 作者:Agnė Butkutė; Tomas Baravykas; Jokūbas Stančikas; T. Tičkūnas; Rokas Vargalis; et al 出版日期:2021-07-09 |
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