Optimizing a novel green slurry by multifunctional pH regulators for ultra-smooth β-Ga2O3 (1 0 0) substrates via chemical mechanical polishing: experimental analysis, theoretical calculation and mechanistic insight

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标题	Optimizing a novel green slurry by multifunctional pH regulators for ultra-smooth β-Ga2O3 (1 0 0) substrates via chemical mechanical polishing: experimental analysis, theoretical calculation and mechanistic insight
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.165965 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jiawei Wu; Baoguo Zhang 出版日期：2026-01-17
求助人	李相赫在 2026-10-29 16:17:31 发布自广东，悬赏 10 积分
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