Systematic studies on reactive ion etch-induced deformations of organic underlayers

已完结

文献求助详情

标题	Systematic studies on reactive ion etch-induced deformations of organic underlayers
网址	https://doi.org/10.1117/12.879442
DOI	10.1117/12.879442 doi
其它	期刊：Advances in Resist Materials and Processing Technology XXVIII 作者：Robert D. Allen; Martin Glodde; Mark H. Somervell; Sebastian Engelmann; Michael Guillorn; et al 出版日期：2011
求助人	gooster 在 2026-05-11 14:00:34 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 琉璃苣完成签到，获得积分10

刚刚; zttszds发布了新的文献求助10

2秒前; 无花果上传了应助文件

2秒前; 在水一方的应助被memory采纳，获得10

2秒前; 小王同学完成签到，获得积分10

3秒前; 土豆发布了新的文献求助10

4秒前; 丘比特上传了应助文件

4秒前; CucRuotThua完成签到，获得积分10

4秒前; 科研通AI6.4的应助被内向的不乐采纳，获得10

4秒前; 十七发布了新的文献求助10

5秒前; 远道完成签到，获得积分10

6秒前; Ava上传了应助文件

7秒前; 唠叨的孤风发布了新的文献求助10

7秒前; uii发布了新的文献求助10

9秒前; 大知闲闲上传了应助文件

11秒前; 地球发布了新的文献求助10

12秒前; 领导范儿的应助被卡布达采纳，获得10

12秒前; 大个的应助被科研乞丐采纳，获得10

13秒前; 上官若男上传了应助文件

13秒前; sun完成签到，获得积分10

13秒前; sandwich完成签到，获得积分10

13秒前; 田様的应助被慈善家采纳，获得30

14秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

14秒前; 科研不掉头发完成签到，获得积分10

17秒前; 大知闲闲上传了应助文件

17秒前; orixero上传了应助文件

18秒前; 科研通AI6.3的应助被MYSHOW采纳，获得10

19秒前; 乐正绫发布了新的文献求助10

19秒前; 云贝关闭了云贝的文献求助

21秒前; joy完成签到，获得积分10

22秒前; 舒易云发布了新的文献求助10

22秒前; 慕青的应助被眼睛大以寒采纳，获得10

22秒前; 充电宝上传了应助文件

23秒前; 白河发布了新的文献求助20

23秒前; 时尚沅完成签到，获得积分10

24秒前; 小木子完成签到，获得积分10

25秒前; 完美的寇上传了应助文件

25秒前; 小鱼小鱼完成签到，获得积分20

26秒前; aubusson的应助被dde采纳，获得50

26秒前; Criminology34上传了应助文件

26秒前