Amorphous silicon carbide films prepared by H2 diluted silane–methane plasma

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标题	Amorphous silicon carbide films prepared by H2 diluted silane–methane plasma
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2003.12.013
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2003.12.013 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Zhihua Hu; Xianbo Liao; Hongwei Diao; Guanglin Kong; Xiangbo Zeng; Yanyue Xu 出版日期：2004
求助人	江哥在 2026-04-23 17:33:04 发布自江苏，悬赏 10 积分
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