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 Atomic-Layer Chemical-Vapor-Deposition of TiN Thin Films on Si(100) and Si(111) 在Si（100）和Si（111）上原子层化学气相沉积TiN薄膜
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Young-Seok Kim; Jeon Hyeongtag; Kim Do Young; Kim Won Mok 出版日期：2000-12-01 |
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