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An innovative gas inlet design in a microwave plasma chemical vapor deposition chamber for high-quality, high-speed, and high-efficiency diamond growth 用于高质量、高速、高效率金刚石生长的微波等离子体化学气相沉积室中的创新气体入口设计
相关领域
材料科学
化学气相沉积
钻石
兴奋剂
制作
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期刊:Journal of Physics D Applied Physics 作者:Weikang zhao; Yan Teng; Kun Tang; Shunming Zhu; Dongyang Liu; et al 出版日期:2023-06-06 |
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