Defects in photomasks

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标题	Defects in photomasks 光掩模中的缺陷相关领域光掩模工程类材料科学计算机科学工程制图纳米技术抵抗图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/s0026-2692(85)80122-1
DOI	10.1016/s0026-2692(85)80122-1 doi
其它	期刊：作者：S.N. Gupta; Amit Bagchi; N. Kundu 出版日期：1985-01-01
求助人	子暮在 2025-09-13 14:10:44 发布自福建，悬赏 10 积分
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