Synthesis, characterization and CMP property of neat and doped mesoporous ceria as defective active particle abrasives

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标题	Synthesis, characterization and CMP property of neat and doped mesoporous ceria as defective active particle abrasives
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfin.2024.105614
DOI	10.1016/j.surfin.2024.105614 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Yang Chen; Pingyang Li; Chao Wang; Luning Zhong; Ailian Chen 出版日期：2025-01-01
求助人	lll 在 2026-07-13 13:55:14 发布，悬赏 10 积分
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