Effect of Organic Ligand Structure on Resist Performance of Inorganic-Organic Hybrid Resist Materials for EB and EUV Lithography

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标题	Effect of Organic Ligand Structure on Resist Performance of Inorganic-Organic Hybrid Resist Materials for EB and EUV Lithography
网址	http://dx.doi.org/10.2494/photopolymer.39.197
DOI	10.2494/photopolymer.39.197 doi
其它	期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology 作者：Hiroki Yamamoto; Takashi Hamada; Takahiro Kozawa 出版日期：2026-07-31
求助人	樊珩在 2026-10-07 17:57:32 发布自上海，悬赏 10 积分
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