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标题
Evolution, challenge, and outlook of TSV, 3D IC integration and 3d silicon integration
TSV、3D IC集成和3D硅集成的发展、挑战和展望
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三维集成电路 中间层 通过硅通孔 集成电路封装 纵向一体化 材料科学 炸薯条 成套系统 系统集成 计算机科学 电子工程 集成电路 光电子学 电气工程 工程类 纳米技术 操作系统 蚀刻(微加工) 法学 政治学 图层(电子)
网址
DOI
10.1109/isapm.2011.6105753 doi
其它 期刊:International Symposium on Advanced Packaging Materials
作者:John H. Lau
出版日期:2011-10-01
求助人
石本松 在 2025-12-06 19:38:24 发布自河北,悬赏 10 积分
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