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 Multifunctional MEMS, NEMS, micro/nano-structures enabled by piezoelectric and ferroelectric effects 通过压电效应和铁电效应实现的多功能MEMS、NEMS、微/纳米结构
相关领域
神经形态工程学
纳米机电系统
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期刊：Nanoscale horizons 作者：Mengyao Xiao; Ao Xu; Zhan Sui; Wenjie Zhang; Huajun Liu; et al 出版日期：2025-01-01 |
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