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标题
Water Flow Improvement by Pinhole Outlet in Batch-Type Wet Cleaning Bath for Large-Diameter Wafers
大直径晶圆间歇式湿式清洗槽中针孔出口的水流改善
相关领域
薄脆饼 针孔（光学） 材料科学 水流 体积流量 流动可视化 流量（数学） 复合材料 前线（军事） 光学 光电子学 机械 环境科学 环境工程 机械工程 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac7bf0
DOI
10.1149/2162-8777/ac7bf0 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Toko Tsuchida; Toshinori Takahashi; Hitoshi Habuka; Akihiro Goto
出版日期：2022-06-24
求助人
星辰大海 在 2025-08-30 05:24:20 发布，悬赏 10 积分
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