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 Water Flow Improvement by Pinhole Outlet in Batch-Type Wet Cleaning Bath for Large-Diameter Wafers 大直径晶圆间歇式湿式清洗槽中针孔出口的水流改善
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Toko Tsuchida; Toshinori Takahashi; Hitoshi Habuka; Akihiro Goto 出版日期：2022-06-24 |
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