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标题
Ultraviolet photo-enhanced atomic layer deposition for improving dielectric properties of low temperature deposited Al2O3
紫外光增强原子层沉积改善低温沉积Al2O3介电性能
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0001865
DOI
10.1116/6.0001865 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Konner E. K. Holden; Shane M. W. Witsell; Paul C. Lemaire; John F. Conley
出版日期：2022-05-13
求助人
端庄的电灯胆 在 2025-08-16 20:48:14 发布自广东，悬赏 10 积分
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