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标题
Ultraviolet photo-enhanced atomic layer deposition for improving dielectric properties of low temperature deposited Al2O3
紫外光增强原子层沉积改善低温沉积Al2O3介电性能
相关领域
原子层沉积 材料科学 紫外线 电介质 电容 X射线光电子能谱 薄膜 光电子学 金属绝缘体金属 制作 分析化学（期刊） 金属 泄漏（经济） 热氧化 电极 硅 纳米技术 化学工程 化学 电压 电容器 冶金 色谱法 量子力学 替代医学 医学 工程类 物理 经济 物理化学 病理 宏观经济学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001865
DOI
10.1116/6.0001865 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Konner E. K. Holden; Shane M. W. Witsell; Paul C. Lemaire; John F. Conley
出版日期：2022-05-13
求助人
端庄的电灯胆 在 2025-08-16 20:48:14 发布，悬赏 10 积分
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