Atomic layer deposited protective coatings for micro-electromechanical systems

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标题	Atomic layer deposited protective coatings for micro-electromechanical systems 用于微机电系统的原子层沉积保护涂层相关领域原子层沉积保形涂层材料科学微电子机械系统悬臂梁制作涂层图层（电子）光电子学粘着抵抗纳米技术薄膜硅复合材料医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1016/s0924-4247(02)00319-9
DOI	10.1016/s0924-4247(02)00319-9 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Nils Høivik; Jeffrey W. Elam; R. Linderman; Victor M. Bright; Steven M. George; et al 出版日期：2002-12-30
求助人	神奇的黑丝袜在 2025-09-16 10:41:07 发布自河北，悬赏 10 积分
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