Investigation of the removal mechanism in amorphous carbon chemical mechanical polishing for achieving an atomic-scale roughness

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标题	Investigation of the removal mechanism in amorphous carbon chemical mechanical polishing for achieving an atomic-scale roughness
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.160721 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Ziyang Wang; Pengzhan Liu; Seunghwan Lee; Jinhyoung Lee; Hyeonjeong Lee; et al 出版日期：2024-07-11
求助人	自然的翠丝在 2026-04-20 15:54:07 发布自中国，悬赏 10 积分
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