Microscopic and data-driven modeling and operation of thermal atomic layer etching of aluminum oxide thin films

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标题	Microscopic and data-driven modeling and operation of thermal atomic layer etching of aluminum oxide thin films
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S026387622...
DOI	10.1016/j.cherd.2021.10.016 doi
其它	期刊：Chemical Engineering Research and Design 作者：Sungil Yun; Matthew Tom; Junwei Luo; Gerassimos Orkoulas; Panagiotis D. Christofides 出版日期：2021-10-25
求助人	Atlantis 在 2026-07-26 19:53:35 发布自上海，悬赏 10 积分
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