Tribochemical mechanisms of abrasives for SiC and sapphire substrates in nanoscale polishing

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标题	Tribochemical mechanisms of abrasives for SiC and sapphire substrates in nanoscale polishing
网址	https://doi.org/10.1039/d3nr02353b
DOI	10.1039/d3nr02353b doi
其它	期刊：Nanoscale 作者：Qiufa Luo; Jing Lu; Feng Jiang; Jia‐Ming Lin; Zige Tian 出版日期：2023-01-01
求助人	xbg 在 2026-09-02 16:22:16 发布自福建，悬赏 10 积分
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