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 Low-temperature deposition of α-Al2O3 film using Al+α-Al2O3 composite target by radio frequency magnetron sputtering Al+α-Al2O3复合靶射频磁控溅射低温沉积α-Al2O3薄膜
相关领域
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溅射
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期刊：Materials Research Express 作者：Yitian Cheng; Wanqi Qiu; Kesong Zhou; Yu Yang; Dongling Jiao; et al 出版日期：2019-04-25 |
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