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标题
Plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride thin films with different substrate biasing using Diiodosilane precursor
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108851
DOI
10.1016/j.mssp.2024.108851 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Mohammed Zeghouane; Gauthier Lefèvre; S. Labau; Mohammed-Bilal Hachemi; F. Bassani; et al
出版日期：2024-08-30
求助人
zzcherished 在 2026-08-05 13:18:56 发布自上海，悬赏 10 积分
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