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 Influence of Si doping on the microstructure and hardness of an AlTiSiN coating deposited by low pressure chemical vapor deposition Si掺杂对低压化学气相沉积AlTiSiN涂层组织和硬度的影响
相关领域
材料科学
微观结构
化学气相沉积
涂层
兴奋剂
沉积（地质）
复合材料
冶金
纳米技术
光电子学
古生物学
沉积物
生物
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| 其它 |
期刊：Ceramics International 作者：Liyong Chen; Lianchang Qiu; Jifei Zhu; Lunwang Yang; Wei Cheng; et al 出版日期：2021-06-01 |
| 求助人 |
Terry
在
2025-07-10 08:23:11 发布，悬赏 10 积分
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