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 Influence of Si doping on the microstructure and hardness of an AlTiSiN coating deposited by low pressure chemical vapor deposition Si掺杂对低压化学气相沉积AlTiSiN涂层组织和硬度的影响
相关领域
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期刊：Ceramics International 作者：Liyong Chen; Lianchang Qiu; Jifei Zhu; Lunwang Yang; Wei Cheng; et al 出版日期：2021-06-01 |
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