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 Sputter-deposited Mo Thin films: multimodal characterization of structure, surface morphology, density, resid- ual stress, electrical resistivity, and mechanical response 相关领域
材料科学
溅射
表征（材料科学）
复合材料
薄膜
曲面（拓扑）
冶金
溅射沉积
残余应力
残余物
沉积（地质）
表面粗糙度
钼
微观结构
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| DOI |
10.18126/io99-ldj2
doi
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