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 Atom probe tomography of hyper-doped Ge layers synthesized by Sb in-diffusion by pulsed laser melting 脉冲激光熔化中扩散合成超掺Gee层的原子探针断层扫描
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Samba Ndiaye; S. Duguay; F. Vurpillot; Chiara Carraro; G. Maggioni; et al 出版日期：2023-06-01 |
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