三维MIM电容器Al2O3/HfO2异质层叠介质薄膜性能及影响

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标题	三维MIM电容器Al2O3/HfO2异质层叠介质薄膜性能及影响
网址	http://doi.wanfangdata.com.cn/10.3969/j.issn.1673-3193.2018....
DOI	10.3969/j.issn.1673-3193.2018.05.022 doi
其它	期刊：中北大学学报（自然科学版）作者：穆继亮出版日期：2018-01-01
求助人	superlit 在 2026-06-30 18:18:47 发布自湖北，悬赏 10 积分
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