Ta-Ni Compound EUV Absorber Material to Mitigate Shadowing Effect and Improve Chemical Durability

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标题	Ta-Ni Compound EUV Absorber Material to Mitigate Shadowing Effect and Improve Chemical Durability 相关领域耐久性材料科学极紫外光刻复合材料冶金纳米技术
网址	https://doi.org/10.3365/kjmm.2016.54.7.546
DOI	10.3365/kjmm.2016.54.7.546 doi
其它	期刊：Korean Journal of Metals and Materials 作者：Jinho Ahn; Dong Gon Woo; Seongchul Hong; Jung Sic Kim; Chul Kyu Yang; et al 出版日期：2016-07-05
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