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Ta-Ni Compound EUV Absorber Material to Mitigate Shadowing Effect and Improve Chemical Durability

耐久性 材料科学 极紫外光刻 复合材料 冶金 纳米技术
作者
Jinho Ahn,Dong Gon Woo,Seongchul Hong,Jung Sic Kim,Chul Kyu Yang,Jong Hwa Lee,Chul Ho Shin
出处
期刊：Korean Journal of Metals and Materials [The Korean Institute of Metals and Materials]
日期：2016-07-05 卷期号：54 (7): 546-551
标识
DOI：10.3365/kjmm.2016.54.7.546
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