RF sputtering of polycrystalline (100), (002), and (101) oriented AlN on an epitaxial 3C-SiC (100) on Si(100) substrate

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标题	RF sputtering of polycrystalline (100), (002), and (101) oriented AlN on an epitaxial 3C-SiC (100) on Si(100) substrate
网址	https://www.semanticscholar.org/paper/7cfd7457525ded57a35885...
DOI	10.1116/1.4900418 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：A. Iqbal; Kien Chaik; G. Walker; A. Iacopi; F. Mohd-Yasin; et al 出版日期：2014-10-28
求助人	亚宁在 2026-06-30 10:15:54 发布自江苏，悬赏 10 积分
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