Recent developments in photoresists for extreme-ultraviolet lithography - 科研通

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标题	Recent developments in photoresists for extreme-ultraviolet lithography
网址	https://doi.org/10.1016/j.polymer.2023.126020
DOI	10.1016/j.polymer.2023.126020 doi
其它	期刊：Polymer 作者：Christopher K. Ober; Florian Käfer; Chenyun Yuan 出版日期：2023-05-16
求助人	ZHAO 在 2026-09-12 15:48:58 发布自北京，悬赏 10 积分
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