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  Growth and Selective Etch of Phosphorus-Doped Silicon/Silicon–Germanium Multilayers Structures for Vertical Transistors Application 用于垂直晶体管的磷掺杂硅/硅锗多层结构的生长和选择性蚀刻
相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
兴奋剂
外延
光电子学
锗
干法蚀刻
薄脆饼
硅
纳米化学
晶体管
场效应晶体管
纳米技术
电气工程
图层（电子）
工程类
电压
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期刊：Nanoscale Research Letters 作者：Chen Li; Hongxiao Lin; Junjie Li; Xiaogen Yin; Yongkui Zhang; et al 出版日期：2020-12-01 |
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