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Plasma-enhanced atomic layer deposition of barium titanate with aluminum incorporation
等离子体增强原子层沉积含铝钛酸钡
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材料科学
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期刊:Acta Materialia 作者:Yongmin Kim; Peter Schindler; Anup L. Dadlani; Shinjita Acharya; J. Provine; et al 出版日期:2016-09-01 |
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