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标题
Accurate optical proximity correction using convolutional neural network with feature aggregation
基于特征聚合的卷积神经网络的精确光学邻近校正
相关领域
卷积神经网络 特征（语言学） 计算机科学 人工智能 模式识别（心理学） 哲学 语言学
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.24.2.023201
DOI
10.1117/1.jmm.24.2.023201 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
作者：Yongkang Liu; Wei Zhao; Xu‐Lin Zhang; Yiming Ji; Ruqiang Yan; et al
出版日期：2025-04-25
求助人
勤劳怜寒 在 2025-05-01 16:39:45 发布自四川，悬赏 20 积分
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