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 Linking erosion and sputter performance of a rotatable Mo target to microstructure and properties of the deposited thin films 相关领域
材料科学
溅射
薄膜
电阻率和电导率
微观结构
复合材料
基质（水族馆）
溅射沉积
沉积（地质）
冶金
光电子学
纳米技术
电气工程
地质学
古生物学
海洋学
沉积物
工程类
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Anna Maria Hofer-Roblyek; Karl-Heinz Pichler; Christian Linke; Robert Franz; Jörg Winkler; et al 出版日期：2018-08-09 |
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