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Linking erosion and sputter performance of a rotatable Mo target to microstructure and properties of the deposited thin films

材料科学 溅射 薄膜 电阻率和电导率 微观结构 复合材料 基质（水族馆） 溅射沉积 沉积（地质） 冶金 光电子学 纳米技术 电气工程 地质学 古生物学 海洋学 沉积物 工程类
作者
Anna Maria Hofer-Roblyek,Karl-Heinz Pichler,Christian Linke,Robert Franz,Jörg Winkler,Christian Mitterer
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2018-08-09 卷期号：352: 354-359 被引量：15
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2018.07.095
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